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气体尘埃粒子计数器的校正方法


发布日期:[2022-10-18] 共阅[103]次

      气体尘埃粒子计数器的(de)校正(zheng)方法
本文介绍(shao)的是气(qi)体尘埃粒子计数器的校正所需设备、基本原理已经(jing)基本步骤。
校正所需设备
1100级洁净房(fang)或(huo)洁净台
2一台用(yong)于(yu)作对比,尚(shang)在校正期内的尘埃粒子计数器
3各粒径的标准(zhun)粒子 
4可产生(sheng)脱离水(DI水)的纯水系统或类似装置
5标准粒(li)子气体产生(sheng)器
6其它普通电(dian)器
二(er)校正的基本原(yuan)理
标准(zhun)粒子通过255粒子产生器(qi)由液状雾化成气体,并(bing)由其内置泵通过(guo)0.2um的过滤器后的干燥气体进(jin)(jin)入取样(yang)管(guan)路,这时,将两台(tai)相同尘埃(ai)粒(li)子计数(shu)器同时或先后对取样(yang)管(guan)进(jin)(jin)行抽样(yang)测试(shi),并(bing)比校(xiao)0.3um粒径(jing)的(de)测试(shi)值。如果其平均(jun)值在20%以内,认为(wei)合(he)格。如(ru)果(guo)不同型号的(de)粒子计(ji)数(shu)器,一定(ding)要弄清楚(chu)其(qi)流速,取(qu)样时间(jian),取(qu)样次数(shu)等参数(shu),并(bing)且,还要明白怎样理解其(qi)测试结果(guo)。
.校(xiao)正的基本步骤:
现(xian)假设对一台常见(jian)的Royco HH200作校正
1首先,要清(qing)楚Royco 323HH200A有何差别(bie),其测试原理一样(yang),但Royco 323流(liu)速为(wei)1CFM(立方英尺(chi)/分(fen)钟),而Royco HH200则为0.1CFM
2将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开Royco 323Royco HH200,让(rang)其预热半小时。
3准备好(hao)255的取(qu)样(yang)器管(guan),并搭(da)接好其(qi)所有气体管(guan)路。
4将(jiang)配好的标准液(如0.301um)放入脱(tuo)原(yuan)子瓶中(zhong),注意勿让(rang)液体超(chao)过(guo)喷嘴。
5设置Royco323Royco HH200的基(ji)本(ben)参(can)数
1取样时间都设(she)置为000100
2取样次数都设置03
3取样模式都设置为Auto
4间隔时间都设置为(wei)000005
5读数模式都设置(zhi)为(wei)Cumulative
注:以上设置相(xiang)同(tong),因其流(liu)速有10倍差,故Royco323测(ce)试结果会是Royco HH200的(de)10倍。
6打开255电源,调节脱(tuo)原子气体(ti)(ti)阀和(he)干燥气体(ti)(ti)阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体(ti)(ti)流速计约60SCFH时(shi)后,保持(chi)其工(gong)作(zuo)状(zhuang)态。
7让(rang)Royco 323Royco HH200同时工作,看其三次(ci)的平均(jun)结果,若在20%以内(nei),视为合格。
8拆下脱原(yuan)子(zi)瓶,重新滴(di)入其它标准粒子(zi),重复该测(ce)试(shi)。
9以上校正只是对比校正,尚可用(yong)万用(yong)表对其(qi)(qi)基(ji)本参数测(ce)量,用(yong)示波器对其(qi)(qi)信号捕捉(zhuo)等来辅助调校。
 

 

 
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